低气压等离子体试验装置

1.设备名称：

    低气压等离子体放电试验装置

2.设备功能：

    在真空条件下，注入低气压试验介质气体，然后施加设定的高电压，实现针板放电、板板阻隔放电等，并对放电过程特性进行测试。内部垂直方向安装了针板放电电极组，针电极在上通过腔体上部的真空高电压绝缘子引入高电压。板电极在下由用户安装在可升降的载物盘上。板电极可以通过专门设计的地电极接地，板电极在垂直方向通过可升降载物盘调节高低。设备引入了满足真空密封要求的多模光纤组件，以达到近距离观察放电情况的目的。为适应多组不同要求的放电试验同时进行，真空高压绝缘子和绝缘地电极以及光纤组件都采用了双备份。设备参照真空和压力容器双重标准来进行设计，同时具备了较高正压工况的放电试验条件。

3.设备特点：

   ①.设备具有一个中真空腔体，腔体容积约100L。采用了上下平盖封头的立式结构腔体。沿圆周方向设置了3个石英玻璃视镜，方便观察和摄像，其中两个互相垂直，另外的呈对视布置。设置了一个快开手孔开门，采用了铰链式开门机构和螺旋式压紧机构。腔体上方有高电压引入的绝缘子，引入电压100KV。装置配置了油封旋片式双级真空泵，并安装了电阻真空规、低气压压力传感器、低气压复合压力表等以满足不同试验气压值分段的测量要求。腔体内部进行了抛光处理。腔体分别连接了真空抽气通路和工艺气体的充气通路。

   ②.内部载物盘采用了丝杠螺套式调节方式，总的可调节高度大于200mm。载物盘上按照间距为25mm，孔径为M6的开孔方式，仿照光学平台排列了足够的螺纹安装孔，可以满足各种光学器件、运动平台的安装固定。

   ③.充气控制采用小口径球阀来控制以满足一般性低气压试验要求。

   ④.系统抽气泵配置了油封旋片式双级真空泵做主泵的抽气系统。充气介质气体采用了瓶装气体。

   ⑤.腔体充气和抽气通路阀门采用了真空手动球阀满足系统抽真空的技术要求。

   ⑥.装置设计了专门的启动控制柜，来满足对抽真空过程的启停控制和对腔体真空状态的监测。

4.设备主要性能：

    ①.真空性能

    低真空状态工作：0.5Pa

    设备总体漏率：1×10^-43Pa·m³/s

    ②.正压试验压力

    压力：0.6MPa

    正常试验压力：0.4MPa

    ③.接入电压

    100KV

    ④.针板距调节

    调节范围：200mm

    调节精度：2mm

    ⑤.控制方式

    泵手动按钮控制

    阀门手动

    针板距调节手动

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